SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯特征

沿滤液方向的梯度孔径分布，保证抛光浆料的品质，并延长浆料的使用寿命。

所有滤芯兼容性极佳，无论是酸性还是碱性浆料，均可过滤。

漏斗状的过滤结构，对可能造成晶片表面伤害的团状颗粒敏感。

为CMP流程提供严格的质量保证。

去除浆料中的大粒径离子及成团的异质颗粒，提高晶片的成品率。

过滤面积大，高过滤效率。

热熔法密封结构，密封性良好。

辉龙过滤的全面质量管理体系保证滤芯品质。

滤芯沿滤液方向的梯度孔径分布结构，适合各种不同的抛光浆料，应用范围广。

通用性好，适合各种标准或者类似的压力容器过滤器。