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SPPL聚丙烯膜CMP浆液过滤滤芯的使用:
SPPL系列CMP浆液过滤聚丙烯折叠滤芯在微电子器件的化学机械抛光中,始终为需要抛光的工件提供均匀的抛光浆料,以优化晶片的整体平面化,提高晶片质量。独特的熔喷材料形成等级分布颗粒物的效果,尤其适合氧化铝和氧化硅抛光浆料的过滤。
该滤芯材料在空间形成三维微孔结构,微孔孔径沿滤液方向呈梯度分布,可以截留不同粒径,孔径范围完全匹配CMP氧化物抛光浆料和金属物抛光浆料的粒径,不仅提高了过滤效率,而且解决了滤芯易阻塞的问题,延长了滤芯的使用寿命。
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